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至於後續審查重點？工業局官員宣稱，將視合併計畫書內容，評估對我國員工就業保障、未來在台投資規劃、對半導體上下游綜效，其中，ASML雖考慮維持投資，但還沒有加碼意願，「我們希望能擴大在台投資」，直言會把相關條件列入審查考量，「先看投資計畫」。

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荷商艾司摩爾（ASML）、台股股后漢微科（3658）今（16）日共同宣布，雙方已簽署股份轉換契約，漢微科將成為ASML百分之百子公司。對此，經濟部投審會表示，目前並未收到相關申請案，尚無法判斷是否有中資疑慮，一旦收件將審查ASML背景。工業局官員則透露，後續該公司是否擴大在台投資也會被列入審查考量。

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對此，經濟部今天下午召開記者會說明，投審會官員指出，目前並未收到相關申請案件，尚無法判斷是否有中資疑慮，一旦收件將審查投資人背景，「我們會等ASML提出申請後，針對投資人資格審查，會請金管會、工業局、中央銀行等單位先審，之後再提報到投審會的委員會進行審議。」

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工業局官員則透露，ASML與漢微科原本就有技術合作關係，過去就曾談及併購相關事宜，「其實雙方已談了一段時間」。該官員也提到，ASML為曝光機業者，漢微科主攻檢測，兩者非但沒重疊，甚至有互補性，未來一定合併，在技術上可望互相支援。

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ASML為迎娶漢微科，宣布以每股1410元、溢價約31％條件購買其全部流通在外股份，總金額在新台幣1000億元左右，且雙方已簽署股份轉換契約，未來漢微科將成為ASML百分百子公司，以研發為主。

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